| 卡盤定制系統(tǒng) | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內(nèi)置多個溫度傳感器，多區(qū)控溫，精確PID調(diào)節(jié)控溫 | ||||||
| 如有其他需求，可非標(biāo)定制 | |||||||
氣冷型三溫卡盤系統(tǒng)是無錫冠亞恒溫專為半導(dǎo)體測試領(lǐng)域研發(fā)的晶圓承載與準(zhǔn)確溫控設(shè)備，功能是為晶圓提供低溫、常溫、高溫三段式可控溫度環(huán)境，適配8/12英寸晶圓測試場景，廣泛應(yīng)用于功率器件建模、晶圓可靠性評估、車規(guī)級芯片老化測試等半導(dǎo)體工藝環(huán)節(jié)。氣冷型三溫卡盤系統(tǒng)chiller
氣冷型三溫卡盤系統(tǒng)技術(shù)與特點
1. 氣冷散熱設(shè)計：采用壓縮空氣（CDA）制冷，無液體或帕爾貼元件，避免污染風(fēng)險，提升設(shè)備運行穩(wěn)定性與安全性。
2. 三溫區(qū)準(zhǔn)確控制：實現(xiàn)-65℃至200℃寬溫域覆蓋，溫控精度達±0.5℃，溫度穩(wěn)定性保持在±0.1℃，滿足嚴(yán)苛測試標(biāo)準(zhǔn)。
3. 溫變切換：支持一鍵切換溫區(qū)，減少調(diào)試時間，提升測試效率，適配多場景連續(xù)測試需求。
4. 模塊化結(jié)構(gòu)：兼容不同規(guī)格探針臺，可根據(jù)測試需求靈活配置，降低總體測試成本。
氣冷型三溫卡盤系統(tǒng)應(yīng)用價值與優(yōu)勢
該系統(tǒng)解決了傳統(tǒng)單溫區(qū)卡盤無法滿足復(fù)雜工藝的痛點，為半導(dǎo)體企業(yè)提供可靠的變溫測試解決方案。無錫冠亞恒溫憑借多年溫控技術(shù)積累，產(chǎn)品具備操作便捷、維護簡單、運行安靜等特點，特別適用于低噪音測試環(huán)境，助力用戶提升測試數(shù)據(jù)準(zhǔn)確性與生產(chǎn)效率。
無錫冠亞恒溫專注工業(yè)溫控設(shè)備研發(fā)生產(chǎn)，可根據(jù)客戶需求提供定制化氣冷型三溫卡盤系統(tǒng)方案，適配半導(dǎo)體、新能源等多行業(yè)應(yīng)用場景。氣冷型三溫卡盤系統(tǒng)chiller
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