| 卡盤定制系統 | |||||||
| 卡盤類型 | GY-CP-8HCV | GY-CP-12HCV | GY-CP-SQ3434HCV | ||||
| 配套Chiller | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-803 GY-PCH-803W | GY-PCH-805 GY-PCH-805W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | GY-PCH-8010 GY-PCH-8010W | |
| 溫度范圍 | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -45℃-200℃ | -55℃-200℃ | -65℃-200℃ | -65℃-200℃ | |
| Chiller電源 | 380 VAC ± 10%，三相(可定制) | ||||||
| Chiller總功率 | 8.5kW | 12.5kW | 8.5kW | 12.5kW | 27.5kW | 27.5kW | |
| 配套控溫模組 | DX-CHUCK-3 | ||||||
| 溫度均勻性 | 土0.5℃ | ||||||
| Chuck加熱能力 | 1.5KW@DC48V | 2.5KW@DC120V | 3KW@DC48V | ||||
| Chuck表面處理 | 鍍鎳/鍍金 | ||||||
| 控溫方式 | 內置多個溫度傳感器，多區控溫，精確PID調節控溫 | ||||||
| 如有其他需求，可非標定制 | |||||||
高低溫卡盤系統是一種集成溫控、真空吸附與精密承載功能的半導體測試設備，主要用于晶圓、芯片、MEMS器件等試樣的全溫域電性測試與可靠性評估，是探針臺的關鍵配套組件。無錫冠亞恒溫作為專業廠家，提供適配半導體、光電、射頻等領域的定制化高低溫卡盤解決方案。高低溫卡盤系統-探針臺精密控溫chiller
高低溫卡盤系統功能與工作原理
1. 準確溫控：集成加熱/制冷單元與高精度傳感器，支持-65℃~+200℃寬溫域（可定制擴展），控溫精度達±0.1℃，實現多區均勻控溫
2. 真空吸附：優化式真空結構確保樣品平整固定，吸附力均勻穩定，避免接觸不良導致的熱阻誤差與樣品損傷
3. 閉環控制：采用自主研發算法，實時采集溫度數據并動態調節，影響測試過程中溫度漂移，保障數據一致性
高低溫卡盤系統主要應用場景
· 半導體晶圓制造與封裝測試的變溫電學參數分析
· 功率器件建模、可靠性評估與老化測試
· 射頻器件、MEMS傳感器等精密元件的高低溫循環測試
· 光電產品變溫性能檢測
無錫冠亞恒溫產品chiller優勢
· 支持直冷、液冷、氣冷多種溫控方式，適配不同測試需求
· 提供8寸、12寸及非標方形卡盤定制
· 全密閉系統設計，延長導熱介質壽命，降低維護成本
· 設置安全報警機制，保障操作安全
無錫冠亞恒溫專注溫控領域十余年，為客戶提供從設備選型到售后維護的全流程服務，助力半導體行業提升測試效率與數據準確性。高低溫卡盤系統-探針臺精密控溫chiller
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