產品信息
特 點
●膜厚測量范圍65nm~92μm(換算為SiO2)
●最短曝光時間1ms~※根據規格
●由于是柔性纖維光學系統,容易組裝到半導體工藝裝置中
●可從上層遠程控制
●于研磨中膜厚終點檢測
基本配置
裝置組裝示意圖
測量案例
適應過程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝
等等
仕様
MCPD-9800仕様
MCPD-9800仕様
大塚電子(蘇州)有限公司主要銷售用于光學特性評價?檢查的裝置。其裝置用于在LED、 OLED、汽車前燈等的光源?照明產業以及液晶顯示器、有機EL顯示器等平板顯示產業以及其相 關材料的光學特性評價?檢查。
以高速?高精度?高可靠性且有市場實際應用的分光器MCPD系列為基礎, 在中國的顯示器 市場上有著20年以上銷售實例, 為許多廠家在研究開發、生產部門所使用。并且在光源?照明 相關方面,對研究機構、各個廠家的銷售量在逐步擴大。
在中國的蘇州有設立售后服務點,為了能迅速且周到的為顧客服務而努力。
我公司的母公司日本大塚電子集團,隸屬于大冢集團, 一直以來都謹守大冢集團 的企業理念「Otsuka-people creating new products for better health world wide」(大冢 為人類的健康創造革新的產品), 不斷的推出創新產品,為社會作出貢獻。
產品信息
特 點
●膜厚測量范圍65nm~92μm(換算為SiO2)
●最短曝光時間1ms~※根據規格
●由于是柔性纖維光學系統,容易組裝到半導體工藝裝置中
●可從上層遠程控制
●于研磨中膜厚終點檢測
基本配置
裝置組裝示意圖
測量案例
適應過程示例
CMP工藝
蝕刻工藝
成膜工藝
等等
仕様
MCPD-9800仕様
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