詳細摘要： K1000為高精度，高穩定性的熱式質量流量控制器。它的量程范圍從10sccm到1000sccm，K1000A為小流量量程MFC（從10sccm~50slm），具...

詳細摘要： DS300壓力式氣體質量流量控制器是針對半導體行業開發的一款適用于半導體裝備的氣體質量流量控制器，用于半導體器件的刻蝕、濺射等工藝。DS300采用基于壓力原理的...

詳細摘要： D07-60是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量...

詳細摘要： D07-15是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量...

詳細摘要： D07-9是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流...

詳細摘要： D07-11是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量...

詳細摘要： D07-19是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量...

詳細摘要： D07-23F是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質...

詳細摘要： D07-7是熱式質量流量計，質量流量控制器可以應用到對各種氣體進行測量和控制，除測量外還可以精密控制氣體的質量流量，質量流量計（MFM）可以精密測量氣體的質量流...

詳細摘要： CS300氣體質量流量控制器是七星流量計專門為大規模集成電路裝備設計的產品，該產品在原有CS200氣體質量流上，采用了基于DF的壓力信號補小償算法，全量控制器的...

詳細摘要： CS330產品是七星華創流量計新研發的數字型產品，流量可達200SLM氮氣，并可實現數字/模擬控制模式；產品采用了新型全金屬密封結構形式、大流量、低壓損電磁調節...

詳細摘要： CS230產品是七星流量計研發的中大流量產品,流量可達300SLM氮氣,并可實現數字/模擬控制模式;產品采用高速控制算法使整個流量計的響應時間方面更加出色,最多...

詳細摘要： CS200H氣體質量流量控制是七星流量計生產的數字型高溫產品，其電氣和機械部分采用分體式的設計，通過高溫線纜連接，可以實現在高溫環境下工作，能夠滿足復雜多變的半...

詳細摘要： CS100產品是基于七星流量計CS系列產品技術平臺開發，在擁有恒功率傳感器技術，數字傳感器平衡技術，VCP線控制技術的基礎上，采用客戶定制化設計，客戶可根據需要...

詳細摘要： CS200氣體質量流量控制器，采用傳感器和溫度補償技術，因此產品精度可以達到設定值1%以內，并且低溫度系數可以保證產品適應不同的環境溫度。同時，產品采用高速控制...