芯矽科技(蘇州芯矽電子科技有限公司)是國內(nèi)半導(dǎo)體濕法清洗設(shè)備領(lǐng)域的新興企業(yè),自2018年成立以來,始終深耕濕制程設(shè)備研發(fā)與制造,以自主創(chuàng)新推動國產(chǎn)替代。
技術(shù)層面,公司融合超聲波、兆聲波等前沿技術(shù),可清除≥0.1μm顆粒,適配3nm及以下制程,攻克高深寬比結(jié)構(gòu)清洗難題;搭載PLC+AI算法,溫控精度達(dá)±0.1℃,良率超99.5%,兼具熱回收降耗30%、廢液回收率超90%的環(huán)保優(yōu)勢。
產(chǎn)品矩陣覆蓋4-12英寸晶圓全場景,涵蓋單片、槽式清洗及專用機(jī)型,適配研發(fā)到量產(chǎn)全流程。核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備、石英清洗機(jī)已進(jìn)入長江存儲、中芯國際、上海華虹等主流晶圓廠供應(yīng)鏈,核心部件國產(chǎn)化降低成本,以高性價比與快速響應(yīng)打破國外壟斷。
秉持“合作、共贏、自主、創(chuàng)新”理念,芯矽科技持續(xù)突破超臨界CO?清洗等前沿技術(shù),以全周期服務(wù)與綠色制造,成為推動半導(dǎo)體裝備國產(chǎn)化的關(guān)鍵力量,為產(chǎn)業(yè)鏈自主可控注入強(qiáng)勁動能。


















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