ZH23型氣動薄膜執行器由膜片、壓縮彈簧、托盤、推桿、支架、軸套、膜蓋等主要零件構成。是針對老式的ZMA/B型單彈簧氣動薄膜執行機構存在的尺寸大、笨重、深波紋膜片不可靠等問題設計開發的新型氣動薄膜執行機構，其膜蓋盤、限制件等零件均采用鋼板沖壓成型。膜片形狀較復雜，采用特殊的壓制工藝，使爆破強度達22kg/cm2以上。多彈簧形式改善了彈簧制造的工藝性，有利于不同彈簧范圍的組配。可調零功能則提高了線性精度。表面處理采用環氧靜電粉未噴涂，具有較高牢度和耐腐蝕性。具有受力均勻、穩定性好、尺寸小，重量輕等優點。以壓縮空氣為能源動力，接受電-氣閥門定位器或電磁閥輸入的氣源壓力信號，此壓力作用在膜室膜片上產生推力壓縮彈簧組件，并使推桿位移，當推桿與彈簧組被壓縮后產生的反力相平衡時，閥桿就穩定在相應行程上。依照力平衡原理，行程大小與壓力信號輸入大小成一定的比例關系，從而達到閥門閥芯準確定位。
ZH23型氣動薄膜執行器 性能參數
| 項目 | 帶定位器 | 不帶定位器 |
|---|---|---|
| 基本誤差％ | ≤±1 | ≤±4(輸出行程的百分數表示) |
| 回差％ | ≤1 | ≤2.5(輸出行程的百分數表示) |
| 死差％ | ≤0.8 | ≤2.5(輸出壓力范圍的百分數表示) |
| 額定行程偏差％ | ±2.5 | |
| 始終點偏差％ | ±0.1 | ±2.5 |
| 零位遷移量％ | ±20 | |
| 薄膜耐壓強度MPa | 20～24 | |
| 工作壽命 | 不少于30萬次 | |
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