| 微小型熱式氣體質量流量計 關鍵字：流量計,孔板流量計,浮子流量計,傳感器,質量流量計,,,,,,, | ||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||||
一、 產品概述 采用關鍵矽微機械加工技術的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優勢的MEMS（ Microelectromechanical systems）氣體質量流量計和流量控制器，主要應用于輕工、化工、環保及半導體等工業部門的空氣、氧氣、氬氣、氮氣等氣體的檢測和控制。 該產品能替代浮子流量計、孔板流量計等流量計。其特點是可靠性高、重復性好，壓損小，無可動部件，量程比寬，響應時間較快，測量精度高，無需要溫度壓力補償
2.2 流量范圍： DN3 30-300ml/min DN6 60-600ml/min DN8 80-800ml/min DN10 100-1000ml/min 注：(a)以上流量的測量介質為空氣而言； (b)以上流量的標準狀態20℃，101.325kPa。 (c) 每個口徑量程范圍均可擴大 (d)特殊需要可聯系廠家單獨標定 2.3 流量測量準確度：±1.5%FS；±2.5%FS 三、 工作原理
式中：氣體流動方向為ｘ，速度為ｖ，ａ為擴散率。 如上圖（式）所示，當氣體流過芯片時，將會帶走熱量，通過質量流量qm和電壓V的對應關系來計算流體的質量流量。
1、產品集成度高，集瞬間流量顯示、累計流量顯示和信號輸出一體，并可實現自動調節、控制閥門。 2、μf微流量感熱式傳感器采用大規模集成電路生產技術和材料加工技術，使流量計的微流量測量靈敏度顯著提升。 3、微小流量氣體測量，ml/min級的微流量測控，實現微小流量測量的數字化。 4、單個芯片的流量特性的微處理技術，使流量計的量程范圍大大提高。 5、機電一體化優化設計，智能化的數據處理技術，使流量計具有更好的重復性，實現了計量的準確、可靠。 6、結構的優化，MFM流量計的壓力損失達到最小化。 7、采用新的MF傳感技術，使流量計工作更穩定、可靠。 8、零點自校功能，測量更準確。 9、多種氣體實際標定，全量程補償。 10、快速響應、數據自動存儲，配合上位機可實現網絡集中管理。 11、規格齊全，量程范圍寬，可根據用戶要求單獨標定。 12、精度等級高，滿足用戶高精度測量要求。 13、的流量計報警功能，使監控更可靠。 14、操作、設置界面友好、簡便，可根據需要自行設定相關參數。 15、運用行業多，是科研院所、分析儀表行業、半導體行業、光伏行業、玻璃鍍膜、石油化工行業微小氣體流量控制產品升級換代的。
六、安裝與接線 7.1 安裝注意事項
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渦輪流量計
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