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RPS晶圓干法去膠機(jī)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng)深圳市長(zhǎng)豐檢測(cè)設(shè)備有限公司
品牌
型號(hào)
所在地深圳市
廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2024/4/16 13:08:56
訪問(wèn)次數(shù)294

產(chǎn)品標(biāo)簽:

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

公司是一家專(zhuān)注于生產(chǎn):模擬環(huán)境可靠性試驗(yàn)設(shè)備、力學(xué)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)室研發(fā)檢測(cè)設(shè)備、大型智能高溫老化設(shè)備、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備、半導(dǎo)體表面清洗設(shè)備等產(chǎn)品的企業(yè)，產(chǎn)品性能優(yōu)良、耗能低、經(jīng)久耐用，并可根據(jù)用戶(hù)的特殊需求進(jìn)行定制。專(zhuān)門(mén)為通信、汽車(chē)電子、半導(dǎo)體、新能源材料等領(lǐng)域提供測(cè)試解決方案及產(chǎn)品檢測(cè)。公司總部位于深圳市寶安區(qū)沙井以銷(xiāo)售研發(fā)為主，華南代工廠位于東莞市虎門(mén)鎮(zhèn)以及萬(wàn)江鎮(zhèn)，華東代工廠位于江蘇省昆山市均以生產(chǎn)為主;公司職員大專(zhuān)及以上學(xué)歷人才占85%，擁有獨(dú)立自主的研發(fā)團(tuán)隊(duì)及規(guī)范專(zhuān)業(yè)的生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)﹔同時(shí)也獲得一系列的證書(shū)、知識(shí)產(chǎn)權(quán)及°企業(yè)"”的認(rèn)證。公司自成立以來(lái)不斷的引進(jìn)各種專(zhuān)業(yè)人才對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行優(yōu)化升級(jí)、改良，使得銷(xiāo)售額年均增長(zhǎng)達(dá)到30%~50%左右，產(chǎn)品也由單一環(huán)境可靠性試驗(yàn)設(shè)備逐步拓展到力學(xué)設(shè)備、非標(biāo)自動(dòng)化設(shè)備以及半導(dǎo)體表面清洗等設(shè)備涉足面廣基本實(shí)現(xiàn)全面穩(wěn)定性發(fā)展，并隨著在國(guó)內(nèi)環(huán)境試驗(yàn)設(shè)備等各行業(yè)里逐步建立起的良好口碑和廣泛的品牌認(rèn)知，我司先后成為諸多企業(yè)及各地高校的親密合作伙伴。公司始終堅(jiān)持從技術(shù)創(chuàng)新開(kāi)發(fā)、設(shè)計(jì)、成品組裝、調(diào)試、測(cè)試等每個(gè)環(huán)節(jié)，以務(wù)實(shí)、專(zhuān)業(yè)、嚴(yán)苛的質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行產(chǎn)品管理。品質(zhì)至上、朋務(wù)至優(yōu)是我司的發(fā)展理念,客戶(hù)的滿意即是我們的目標(biāo)。產(chǎn)品優(yōu)勢(shì):1、產(chǎn)品性能優(yōu)良、經(jīng)久耐用，并可根據(jù)客戶(hù)的特殊需求進(jìn)行定制。2、獨(dú)立自主的研發(fā)團(tuán)隊(duì)，規(guī)范的生產(chǎn)團(tuán)隊(duì)，嚴(yán)格按照工藝要求生產(chǎn)，外型美觀。3、核心部件采用國(guó)外，可保證試驗(yàn)機(jī)的性能及品質(zhì)。擁有健全的售后服務(wù)保證體系。

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振動(dòng)耐磨擦試驗(yàn)機(jī)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢(xún)價(jià)

一、常規(guī)參數(shù)1.安裝尺寸：1300*2300*2000mm（寬*長(zhǎng)*高）2.設(shè)備參數(shù)配置：三相電壓380V，50/60Hz，總電流不超過(guò)50A;3.設(shè)備部署環(huán)境：萬(wàn)級(jí)淨(jìng)化間,溫度21~23℃，相對(duì)濕度45±5%

RPS晶圓干法去膠機(jī) 產(chǎn)品信息

一、常規(guī)參數(shù)

1.安裝尺寸：1300*2300*2000mm（寬*長(zhǎng)*高）

2.設(shè)備參數(shù)配置：三相電壓380V，50/60Hz，總電流不超過(guò)50A;

3.設(shè)備部署環(huán)境：萬(wàn)級(jí)淨(jìng)化間, 溫度21~23℃，相對(duì)濕度45±5%；

4. MTTR/平均故障修復(fù)時(shí)間＜4小時(shí)，MTBF/平均時(shí)間＞250小時(shí),

Uptime/正常運(yùn)行時(shí)間≥92% .

5. Wafer Breakage/碎片率≤1/10000PCs

6.Descum WPH/descum 產(chǎn)能≥90wafers（基於20秒descum工藝時(shí)間程式）

7.base pressure/腔體底壓≤20mTorr；leakage check腔體漏率≤10mtorr/min

8.Partical/顆粒度 :＜30ea@0.2um 腔體單次傳片大於0.2um的顆粒增加量小於20顆

9.支持SECS/GEM通訊協(xié)議

二、技術(shù)規(guī)格

2.1設(shè)備規(guī)格

主機(jī)部分
No.	Item/專(zhuān)案	Specification/規(guī)格說(shuō)明
1	Plasma Source	RPS Plasma Source/微波等離子源,1000W, 2.45GHz RF bias（底部射頻偏壓） 600W，13.56MHz
2	Process Chamber	工作臺(tái)chuck溫度範(fàn)圍: 20~50℃; 可選chuck控溫：50~250℃ 水冷機(jī)控溫適合wafer尺寸: 200mm wafer 腔體數(shù)量: 2個(gè) Al 6061 腔體腔體自動(dòng)門(mén)：中國(guó)臺(tái)灣AdvanTorr
3	Gas Supply System	單個(gè)腔體工藝氣路：3路 MFC品牌：MKS 腔體氣路: O2/N2/Ar，CF4為選配氣體
4	Vacuum System	幹泵: 愛(ài)德華壓力控制: Throttle valve 蝶閥中國(guó)臺(tái)灣HTC 真空計(jì):Inficon Vacuum Gauge
5	Auto Wafer Transfer System	上料臺(tái)：2 cassette 上料臺(tái)，適合 8 inch wafers； Cassette wafer mapping：晶圓擺放檢測(cè) VAC Robot；日本JEL
6	Control System	PC：工業(yè)電腦 Windows系統(tǒng)控制；操作軟體: 介面友好，圖形化視圖，自動(dòng)保存log檔
7	Safety System	EMO: 三個(gè)急停按鈕 Interlock硬體安全互鎖: 硬體互鎖包括 Power/Temp/Vacuum