WUD-20 高純傳感器

應(yīng)用半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體產(chǎn)品特性高精度壓力測(cè)量0.15%RSS的長(zhǎng)期穩(wěn)定性信號(hào)降噪和屏蔽真空基準(zhǔn)壓力測(cè)量主動(dòng)溫度補(bǔ)償描述可靠WUD-2x系列高純傳感器將的傳感器理念與模擬輸出信號(hào)相結(jié)合，能夠?yàn)楫?dāng)前市場(chǎng)需求提供安全、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量

應(yīng)用
半導(dǎo)體、平板顯示器和光伏行業(yè)
用于為半導(dǎo)體生產(chǎn)系統(tǒng)供應(yīng)高純氣體
產(chǎn)品特性
高精度壓力測(cè)量0.15 % RSS
的長(zhǎng)期穩(wěn)定性
信號(hào)降噪和屏蔽
真空基準(zhǔn)壓力測(cè)量
主動(dòng)溫度補(bǔ)償
描述
可靠
WUD-2x系列高純傳感器將的傳感器理念與模擬輸出信號(hào)相結(jié)合，能夠?yàn)楫?dāng)前市場(chǎng)需求提供安全、準(zhǔn)確的壓力測(cè)量。

基于真正真空基準(zhǔn)的壓力測(cè)量技術(shù)，加上帶干擾屏蔽及噪音消除的電子測(cè)量技術(shù)，確保了高精度壓力測(cè)量以及優(yōu)異的長(zhǎng)期穩(wěn)定性。

主動(dòng)溫度補(bǔ)償可降低溫度變化對(duì)傳感器的影響，即使在溫度變化很大的應(yīng)用中仍然能夠安全使用，如氣體膨脹時(shí)的焦耳湯姆遜效應(yīng)。

WUD-25管道式及WUD-26表面安裝傳感器采用特別設(shè)計(jì)，可承受安裝帶來的扭曲應(yīng)力。特殊的薄膜設(shè)計(jì)可消除過程連接或焊接接縫處的負(fù)載造成的傳感器失效風(fēng)險(xiǎn)。

多用途
WUD-2x可輕松安裝于“on-tool"配氣系統(tǒng)中。明亮的LED顯示屏可旋轉(zhuǎn)，因此可從任意位置輕松查看讀數(shù)。

配備2個(gè)可編程開關(guān)輸出，可針對(duì)具體應(yīng)用進(jìn)行監(jiān)測(cè)及控制。

結(jié)構(gòu)緊湊
WUD-2x為緊湊型UHP傳感器，夠用于安裝空間狹小的場(chǎng)合，甚至可輕松對(duì)現(xiàn)有裝置進(jìn)行改裝。