molbloc-S 音速噴嘴流量元件

特性一覽

• 對于 N2 和空氣，覆蓋高達 5,000 slm 的量程
• 可與 molbox1+ 或現有的 molbox1 和 molbox RFM 質量流量終端以及 COMPASS 軟件結合使用
• 重量校準支持可靠的流量文氏管（音速）噴嘴操作原則
• 污染物敏感度極低
• 測量不確定度：
  對于 molbox1+，可達到 ±0.125% 讀數
  對于 molbox1，可達到 ±0.2% 讀數
  對于 molbox RFM，可達到 ±0.5% 讀數
• 可以使用空氣、N2、Ar、He 和其他校準氣體，可以對環境氣體進行潮濕氣體密度補償
• 利用 molbox1+S 或其他 molbox 型號加上真空，可實現量程可調性（10:1 調節）。
• 冗余的上游絕壓測量使用 molbox 絕壓傳感器來降低不確定度并提高可靠性
• 完整的氣體溫度調節和測量
• 連續、實時的讀數，就像傳統的 molbloc-L 層流元件一樣
• 可以實現全自動

molbloc-S 量程

通過 molbloc-S 的質量流速可直接與上游絕壓以及獨立的下游壓力或壓力差成比例。molbloc-S 流量量程由 molbloc 的壓力到流量轉化率 K_F 定義。K_F 的單位為 sccm/kPa，它定義了質量流量與傳送到 molbloc-S 的上游絕壓之間的關系。molbloc-S 校準工作是針對與 20 到 200 kPa（3 到 30 psia）、50 到 500 kPa（7 到 70 psia）或 200 kPa 到 2 MPa（30 到 300 psia）的上游壓力相對應的量程執行的。

為了使流量測量有效，molbloc-S 文丘管噴嘴處的流量很重要，例如，氣體速度等同于本地音速。當背壓率足夠低時可以達到關鍵流量，或保持 BPR 不變（molbloc-S 下游絕壓除以上游絕壓）。關鍵流量可接受的 molbloc-S BPR 值的上限介于 0.5 和 0.9 之間，具體取決于流量的雷諾數。

由于通過 molbloc-S 的質量流量與上游絕壓成比例，molbloc-S 的流量量程在應用中的限值受 BPR 限值的影響。要使 molbloc-S 元件的量程，必須在下游連接一個真空泵，減少流動時的下游壓力。當下游壓力足夠低時，就可以將上游壓力以及質量流速調節到針對 molbloc 校準類型的最小值，而不再受 BPR 限值的限制。如果 molbloc-S 使用大氣壓作為下游（無真空泵），則molbloc 所使用的上游壓力必須介于其校準類型的壓力到當 BPR 等于當前雷諾數下的 BPR 限值時的最小壓力之間。molbox1 終端包括了一些功能，可測量 BPR，在 BPR 值過高時自動提示操作人員，避免在流量非關鍵時進行測量。