厚度片(板)組-基體(磁性、非磁性)JJG818-2018

JJG818-2018磁性、電渦流式覆層厚度測量儀檢定規程 

Aubat-FC1000檢定裝置：

1、厚度片（板）組

測量重復性、示值誤差、示值穩定性，電源電壓變化對儀器示值的影響。

2、基體（磁性或非磁性）、陶瓷與金屬量塊

表面粗糙度Ra≤0.2 μm、平面度≤1μm、其尺寸≥1.3Φ;

范圍

本規程適用于磁性(磁阻式和磁力式)覆層厚度測量儀和電渦流式覆層厚度測量儀/厚度儀的**檢定、后續檢定和使用中檢查。測厚儀中的磁性覆層厚度測量儀一般用于測量磁性金屬基體上的非磁性覆蓋層的厚度;電渦流式覆層厚度測量儀一般用于測量非磁性金屬基體上的非導電覆蓋層的厚度。測厚儀按數值顯示方式可分為數字式和指針式兩大類，測量范圍一般為(0~1 250)μm，*大可測至 30 mm，分辨力*高可達 0.1 μm。

檢定方法：

1. 測量重復性

選擇測厚儀的*小量程擋，在基體工作面位置附近放置一個數值大于 2/3 量程(無量程擋的測厚儀選擇在*小分辨力的量程 2/3 以上范圍) 的厚度片，在同一位置連續測量 9 次，取 9 次示值中的*大值與*小值之差的 1/3 作為測量重復性。

2. 示值誤差

按使用說明對測厚儀進行零點調整。在測厚儀的每一量程內大致均勻分布三至五點作為受檢點 (含*接近量程上、下限的點)，選取相應厚度和準確度級別的厚度片 (對磁力式覆層厚度測量儀需選用厚度板) 依次測量，測量時使測厚儀測頭盡量垂直對準厚度片的中間位置(對磁力式覆層厚度測量儀需要水平放置在厚度板上，使測量磁鋼自動吸附在厚度板的中間位置)，每個受檢點連續測量 5 次，取平均值作為測厚儀在該點的示值。

3. 示值穩定性

對交流供電的測厚儀選擇測厚儀的*小量程擋，在基體工作面位置附近放置一個數值大于 1/2 量程的厚度片，將測頭裝在檢定臺上垂直壓向厚度片并使其固定。記下**次讀數，以后每間隔 15 min 記一次讀數，連續記錄 1 h，取5 次讀數中的*大值與*小值之差作為測量結果。

4. 電源電壓變化對儀器示值的影響

對交流電壓供電的測厚儀，選擇測厚儀的*小量程擋，在基體工作面位置附近放置一個數值大于 1/2 量程的厚度片 (單一量程的測厚儀選擇在*小分辨力的量程 2/3以上范圍)，將可調式直流穩壓電源或可調式交流變壓器串接在測厚儀的電源端，并用電壓表監視。按測厚儀要求調整電源電壓至測厚儀許可的額定電壓的一10%處，測量厚度片 5 次，取其平均值作為該點在該電壓下的示值，再分別將電源電壓調整到測厚儀額定工作電壓和測厚儀許可的額定電壓的+10%處，各測量厚度片 5 次，分別取其平均值作為該點在該電壓下的示值，各點示值誤差按公式處理。

5. 厚度片

用數顯電感式測微儀 (選擇 1 N 測力的測頭，不大于 50 um 的厚度片選用平面測頭) 和三等量塊或光柵測微儀等，在平面工作臺上用比較法測量或用直接法測量。直接法測量:先將數顯電感式測微儀或光柵測微儀等對零，再將被測的厚度片放在平面工作臺上，在距邊緣 5 mm 的測量區域內均勻分布 5 個點測量，取中心點 5 次示值的平均值作為厚度片的實際值。

對于沒有與厚度片厚度標稱值相差 20 um 以內量塊的情況，可以使用量塊組合測量。例如測量標稱值為 405 um 的厚度片，先用 1.4 mm 的量塊，讓數顯式電感測微儀對零，記下此時的數值，將 1 mm 的量塊墊在工作臺上，將厚度片放置在 1 mm 量塊上用數顯式電感測微儀測量。