Name: 微差壓傳感器
SKU: LBA
Availability: InStock

產品簡介

sensortechnics公司推出新的超低壓傳感器LBA 系列. 范圍從250和500 Pa 全量程. LBA系列全模擬信號處理, 可以提供很好的線性度和溫度補償輸出, 分辨率可達0.1%, 響應時間在1ms.LBA的特點是超靈敏度和穩定的偏移量. 該芯片基于熱式氣體流量測量并內置了一個微流體通路. 這個非常狹窄的微流體通路降低了流進氣體的流速. 極低的氣體流速保證了傳感器連接管路和濾器后

詳細介紹

. 測量原理

sensortechnics公司LBA差壓傳感器測量超低空氣或氣體的壓力從25Pa(0.1 inH2O) 全量程范圍.

傳感器內置新的**的MEMS技術, 在硅傳感器芯片內部, 它內置了微流通道. 同時傳感器使用被證實的一個原理:通過一個熱式質量流量測量推斷壓力; 一個加熱元素, 兩個熱敏傳感器被放置在加熱元素兩端. 一個氣體流過, 先后經由兩個熱敏傳感器, 導致一個溫度差異, 由此產生一個電壓信號, 該信號和質量流速成比例. 因為流速是由兩個傳感器口的壓差所導致, 所以輸出信號也是測量供應的差壓力.

表2顯示了一個基礎的LBA傳感器未經放大的輸出. 功能是顯示壓力差. LBA技術特點是寬動態范圍和高靈敏性, 特別是在零壓力附近的超低壓范圍. Sensortechnics公司LBA傳感器提供模擬量校正, 溫度補償和預防大. 他們可以被優化到不同的應用環境.

2. 傳感器結構

LBA傳感器基于一個硅傳感器芯片, 只有大約4mm2, 它包含一個微流體通道、傳感元素、和一個全模擬的CMOS信號電路。傳感器芯片內部內置了一個超微通道， Sensortechnics的LBA傳感器能夠完成高氣阻性可以達到200，000pa（ml/s），和同類的傳感器相比，可以達到1000倍，這個優勢減少了氣體流量的決定值降低，允許應用在骯臟或濕度大的環境，或者是有長管道連接或慮器的環境。

傳統熱質式壓力傳感器，氣體流量通道是由封裝的塑料結構實現，相比較， Sensortechnics的微流量LBA系列是被定義在硅芯片水平。這個特點允許傳感器在設計結構的可變性，很小化和穩定的封裝及減少生產成本。更重要的是半導體技術可以減少產品的公差。

3．使用差壓傳感器進行流量測量

差壓傳感器可以測量非常低的壓力范圍只有幾毫巴，這種特點可以應用在細管和管道容量測量。例如在上的流量測量和HVAC上的濾器控制。一個人造的流阻，如小口徑，層流元素等，通過測壓力推算流速。

Sensortechnics的壓力傳感器LBA可以校正不同的壓力，可以監測壓力的下落當通過一個流體部件，LBA被旁路安裝。由于傳感器本身的氣阻，要求通過傳感器的流速被限制在*大120-180ul/min。這幾乎意味著LBA相當于一個膜式差壓傳感器，幾乎不允許任何流體通過。這因為如此，它對于極低的壓力有很高的靈敏性。

4．對長管連接和入口濾器的**性。

為了測量流量，基于流速的差壓傳感器必須要連接主管路，請參看表4。有時候，額外的濾器必須被連接到旁路以保護傳感器防止臟物，濕氣，病毒的侵蝕。但是位于主路旁路之間的任何部件,都將導致一個壓力的下降. 所以壓力傳感器所測量出來的壓力實際并不是真實的壓力差值, 這個結果導致主通道氣體流速測量不準確. 連接在流路上的管道或濾器越多, 誤差越大; 因此, 傳統的流量式差壓傳感器會限制管道的長度或者是給出一個公式來補償旁路掉的壓力.

一個一米管長, 內徑在1.6mm的管子大致會導致氣阻在120pa(ml/s); Sensortechnics公司LBA傳感器內部氣阻可以實現200,000pa(ml/s)-是普通的氣阻16667倍, 這意味著, 由于旁路導致的壓力的降低幾乎是沒有的. 因此LBA傳感器可以連接很長的管子, 濾器或其它啟動部件,而不會導致壓力的降低. 即使一些氣路元件隨著時間的推移,氣阻發生變化, 仍然不會影響測量的準確性.

5. 對臟物的**性

如果流量式壓力傳感器被應用在骯臟的環境測量流量, 如HVAC環境下, 臟物進到傳感器內或附著在管道內部, 這將導致傳感器的氣阻增加, 從而導致輸出信號降低和測量錯誤. 在特別惡劣的環境, 管道甚至會被堵住,造成傳感器無法測量; 還有情況是, 傳感器被臟物堵住, 影響測量結果.

Sensortechnics公司LBA傳感器對臟物有**性. 由于它的高氣阻, 流經傳感器的氣流非常之少, 這意味著臟物將不容易被攜帶到傳感器內部, 這確保了測量的準確性和傳感器的長壽命.

6. 對濕度的**性

在許多的醫療設備, 如, ,睡眠診斷設備, 制氧機等, 病人的呼吸量被控制通過熱質式差壓傳感器. 由于呼吸的流量要求保持一定的濕度和溫度, 水滴會停留在管道和傳感器內部. 如果水滴量被積累到一定的程度,超過某尺寸它將影響測量的準確性., 這將導致一個錯誤的傳感器輸出, *壞的情況, 會導致流路被堵塞, 甚至傳感器損害.

Sensortechnics公司LBA傳感器對濕度有**性, 由于它的高氣阻特性. 流經傳感器的氣體非常之少.這意味著測量將不會被影響,并且保持傳感器的長壽命.

微差壓傳感器

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