潘寧冷陰極電離真空計 PEG100

優(yōu)點

• 測量范圍廣，從 1 x 10^-9 至 1 x 10^-2 毫巴（7.5 x 10^-10 至 7.5 x 10^-3 托）
• 全金屬冷陰極傳感器（潘寧），帶陶瓷饋入裝置
• 創(chuàng)新的電極幾何形狀提供的點火屬性
• 等離子點火后降低的高壓和鈦陰極板可減少污染危險，即使在有氬氣的濺射運行中
• 陽極環(huán)和鈦陰極可輕松進行清潔或更換
• 最小化真空計附近的磁場強度
• 用于電源接通和等離子體點火的 LED 指示器
• 對數(shù)模擬輸出信號
• 現(xiàn)場總線接口（Profibus DP、DeviceNet）允許使用網(wǎng)絡(luò)通信將真空計輕松集成到真空系統(tǒng)中

典型應(yīng)用

• 高真空壓力監(jiān)控
• 蒸發(fā)濺射系統(tǒng)
• 高真空范圍內(nèi)的一般真空測量和控制