干式氦氣檢漏儀 UL1000 Fab

功能

• 15 級的寬測量范圍
• 較短的抽氣和響應時間
• 移動式全金屬外殼，增加了便利性，具有可操作性
• I-CAL 確保了在所有測量范圍中提供的泄漏響應時間
• 抑零功能和自動積分時間校正，可提供快速、可靠的測試結果
• 含堅固耐用渦旋泵和多入口渦輪分子泵的智能型真空設計，提供較高氦氣抽氣能力和高壓縮比
• 旋轉式顯示器和用戶界面允許簡單、輕松控制裝置以及與其進行交互
• 自保護功能可防止 UL1000 Fab 氦氣檢漏儀受到氦氣和微粒的污染
• 自動吹掃循環可確保清理并隨時可進行測試
• 通過電子郵件進行軟件更新
• 含兩個燈絲離子源（3 年質保）的耐用質譜系統確保了較長的運行時間和較低的維護成本
• 內部校準用的內置測試漏孔確保了精確的測試結果

典型應用

• 對半導體加工工具執行維護作業，無論是否具有自有泵支持
• 需要較高抽氣能力、高靈敏度和清潔測試條件的應用
• 在現有工具中安裝前對部件執行檢漏
• 工藝氣體系統的檢查和安裝
• 內置軟件菜單“自動測漏"功能可使用 TC1000 測試盒執行密封組件的自動測試